MEMS压电泵

基本原理

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MEMS压电泵是微型泵制造技术的革命性产品，利用压电陶瓷的逆压电效应，使压电振子产生形变，进而引起泵腔内容积变化，实现流体输送。

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MEMS压电泵具备体积极小、集成度高、功耗低、比流量高、比背压高的特点，在微流控、高端医疗、半导体热管理等领域具有独特的优势，特别适合微系统集成应用。